반도체 제조설비의 온도를 제어하는 칠러(Chiller)는 내부를 순환하는 냉각유체의 상태에 따라 성능과 운전 안정성이 달라질 수 있다. 유체에 수분이나 오염물질이 유입되면 저온에서 결빙이 발생하거나 장비 부품이 손상될 위험이 있다. 특히 반도체 공정에 사용하는 특수 냉각유체는 가격이 높아 안정적인 성능을 유지하면서 사용 수명을 관리하는 일도 중요하다. 오랫동안 반도체 칠러를 설계하고 개발해 온 김남원 대표가 주목한 부분도 여기에 있었다.
김 대표는 냉각유체를 공급하는 것만큼이나 사용 과정에서 발생하는 문제를 관리하는 기술이 필요하다고 판단했다. 그가 이끄는 넥썸(NEXTHERM)은 이러한 경험을 바탕으로 냉각유체 관리 시스템 ‘C-SAVER(씨세이버)’를 개발했다. 기존 칠러에 적용해 유체의 수분과 오염물질을 관리하는 장치로, 냉각유체와 펌프를 공급하며 쌓아온 기술 경험을 자체 제품으로 발전시킨 사례다.
